喜開理CKD電空減壓閥安裝及使用

喜開理CKD電空減壓閥安裝及使用

主要特點:
流體通路部、快插接頭均以無潤滑脂為標準規(guī)格。 適用于禁油用途。
【節(jié)能機構(gòu)】
采用可變常時釋放機構(gòu)。
可設(shè)定與使用壓力相匹配的少耗氣量。
采用禁油規(guī)格•不銹鋼閥體，半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置使用的清潔空氣、N2的壓力控制。
另外，由于緊湊•大流量，因此適合空氣（N2）吹氣。
在低壓范圍實現(xiàn)高靈敏度控制】
設(shè)定壓力為低壓用時0.01?0.2MPa，標準時0.02?0.5MPa。
靈敏度為0.001MPa。
采用特殊膜片結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了低壓范圍內(nèi)的高靈敏度調(diào)整。
確保在室外使用的耐久性。
外罩，壓力表插塊的金屬化，采用強化玻璃。
機能零件使用高耐腐蝕性零件。
防雨、防蟲對策
配管連接時的密封帶的纏卷方法是從配管螺紋前端起2mm以上的內(nèi)側(cè)位置開始順螺紋方向和反螺紋方向纏卷。
實施精密清洗（氣體接觸部分），在潔凈室內(nèi)進行從組裝到包裝的。
接觸氣體部位不使用潤滑脂。
【緊湊•大流量】
對邊50mm的緊湊尺寸，并實現(xiàn)了0.8?/min的大流量。
（1次壓力0.7MPa、設(shè)定壓力0.5MPa、壓力降0.1MPa時的流量）
【帶可逆流功能】
具有排放1次側(cè)壓力時，2次側(cè)壓力向1次側(cè)逆流的功能。
2次側(cè)不殘留壓力，重視安全性。（不施加背壓時）
●密封帶從螺紋前端伸出的話，因螺紋的擰入，會將密封帶切斷，斷片會進入空壓元件內(nèi)部，成為故障的原因。

喜開理CKD電空減壓閥安裝及使用